近年來，RTO作為一種高凈化效率、高熱效率的有機廢氣治理技術被廣泛應用于化工和原料藥行業的有機廢氣治理項目中，而當RTO應用在半導體、液晶面板等產生含硅廢氣的行業中卻顯得捉襟見肘，因為廢氣中的含硅有機物燃燒后的產物對RTO的蓄熱陶瓷體影響是非常嚴重的。如何應對含硅有機廢氣對RTO的影響以及如何治理含硅廢氣將成為企業必須要關注的問題
一般的有機廢氣VOCs分子只含C、H、O元素，若有機廢氣VOCs分子中還包含Si元素，則此類VOCs可被稱為含硅有機物。通過調研常見含硅有機物的MSDS（物質安全數據表）發現，含硅有機物的燃燒產物均包含SiO2。即含硅有機物經過RTO高溫氧化分解后，C、H、O等元素可以轉變為CO2和H2O，Si元素轉變為SiO2。有機廢氣治理行業中，常見的含硅有機物及RTO燃燒產物見表1。
表1 常見的含硅有機物
含硅有機物高溫燃燒氧化后產生的SiO2在蓄熱陶瓷填料表面形成結晶，蓄熱陶瓷采用硅鋁系耐火材料，由于硅鋁酸鹽與SiO2結晶的相近性，導致SiO2與陶瓷表面的硅鋁酸鹽以類似于化學鍵的形式牢固地結合在一起，宏觀上表現為SiO2結晶在蓄熱陶瓷表面生長，占據蓄熱陶瓷的孔道。
蓄熱陶瓷被SiO2堵塞初期，SiO2沉積會造成床層有效通徑減小，床層阻力壓降增加，蓄熱陶瓷體的孔道通風面積變小，RTO系統壓力增大后，RTO系統的主風機的電耗增大，對應的電耗增加。隨著時間推移，蓄熱陶瓷體孔道中的SiO2逐漸增加，最終被 SiO2 全部占滿，導致車間的排風量減少，或RTO系統壓力降過大，觸發RTO系統緊急停車，影響車間的正常生產。根據工程經驗，一般蓄熱陶瓷體上層堵塞最為嚴重，第二層陶瓷同樣被SiO2堵塞，但情況相對層較輕。SiO2堵塞RTO蓄熱陶瓷實物見圖1。
根據我司工程經驗，一般蓄熱陶瓷體上層堵塞最為嚴重，第二層陶瓷同樣被SiO2堵塞，但情況相對層較輕，針對這一情況，可在蓄熱陶瓷上方鋪設一層散堆狀鞍環陶瓷填料，以保證蓄熱陶瓷體不會因為二氧化硅堵塞而影響通風，延長清洗或者更換陶瓷的周期。
（1）如果二氧化硅的生成量不大，并且沒有和其他產物生成玻璃層狀沉積物，可直接在床層內進行清理。
（2）停爐維護的時候先要用工業吸塵器清理最上層蓄熱陶瓷表面的硅粉，包括氧化室內壁，保溫棉上附著粉末和絮狀的SiO2，防止RTO啟動時粉塵落在蓄熱體頂部，然后再用高壓水槍沖洗。若直接用水清洗，高壓水槍會把上層粉末沖到下層，堵塞中上層蓄熱體。
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